电热蒸汽加湿器的工作原理，乃是电阻加热，属于等温加湿。纯水经过加湿器主机之进水浮球阀注入，有加湿需求时，控制箱内部的接触器吸合，利用电热管通电产热，将纯水加热产生水蒸汽，水蒸汽直接由蒸汽出口（外置式再经蒸汽分布器）和空气吸收后达到空气加湿的目的。
电热蒸汽加湿器主要由外置式控制箱、蒸汽产生主机与加湿分布器所组成。其主要动作方式为控制箱依加湿需求量控制单组或多组电磁继电器或SCR可控硅整流器的作动，藉以控制电热管的产热量，以产生所需的加湿量。其中蒸汽主机的水位，由进水浮球阀来调节，当供水不足或停止时，低水位保护开关会动作，切断电热管电源以保护电热管。另外蒸汽主机有过热保护开关，作为缺水时的第二道保护开关。另设有手动排水球阀，以便维护时使用。溢流口可去除漂浮在水面上的矿物杂质（泡沫）污垢。