等离子体法的基本原理：
净化作用机理是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开有害气体分子的化学健，使之分解为单质原子或无害分子；等离子体中包含大量的高能电子，正负离子，激发态粒子和具有强氧化性的自由基，那些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，使分子处于激发状态。当废气气分子获得的能量大于其分子键能的结合时，废气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子构成得无害气体分子。同时产生的大量OH，HO2，O等活性基和气化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，最终生成无害产物。
等离子体中大的高能电子可使负电性高的气体分子（如氧分子、氮分子）带上电子而成为负离子，它具有许多良好的健康效应，对人体及其他生物的生命活动有着十分重要的影响，被人们誉为“空气维生素” 、“长寿素”。
等离子体的净化作用还具备显著生物的效应，发生静电作用在各种细菌，病毒等微生物表面产生的电能剪切大于细胞膜表面张力，使用细胞膜遭到破坏，导致微生物死亡，因此低温等离子体除臭技术具有优秀的杀菌消毒之功效。
以上所述显示，低温等离子体技术不仅可以净化空气，同时还可以杀毒染菌，从而使空气维持在自然、清新的状态，这是其他任何技术方法无法比拟的。