原理：
是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。
低温等离子体去除污染物的机理：
等离子体化学反应过程中，低温等离子设备等离子体传递的化学能量在反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场＋电子→高能电子
(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
技术特点：
①高效废气净化：本设备能高效去除挥发性有机物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，除臭效率可达98%以上并且具有强力杀灭空气中细菌、病毒等各种微生物能力，而且具有明显的防霉作用。
②无需添加任何物质：低温等离子体废气处理是一种干法净化过程，是一种全新的净化过程，运行过程无需添加任何添加剂，不产生废水、废渣，不会导致二次污染。
③适应性强：持久的净化功能，无须专人看管。可适应高浓度、大气量、不同气态物质的净化处理，可在高温250℃,低温-50℃的环境内净化区均可运转。
④湿度饱和的环境下仍可正常运行，每天24小时连续工作，长期运行稳定可靠。
⑤低耗节能：运行费用低廉、省电是“低温等离子体”专利核心技术之一,处理1000M3/h臭气，耗电仅0.25度。
⑥设备组合性强：“低温等离子体”设备重量轻，体积小，可按场地要求立放、卧放，可根据废气浓度、流量、成份进行串、并组合设计达到完全的废气净化。
⑦设备使用寿命长：抗氧化性强，对酸、碱气体、潮湿环境等具有良好的防腐性能。使用寿命长达15年以上。
⑧安全：“低温等离子体”设备内使用电压在36伏以下，安全可靠。
适用范围：
适应于家具厂、鞋厂、五金厂、电子厂、工艺品厂、印染厂、塑料制品厂、化工、医药等行业。