超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。
超纯水是水分子纯度极高的水，通俗点讲就是只含有水分子(H2O)，不含有其它任何杂质。主要体现是具有导电性能的离子基本不含，其水质电阻值为18.2 MΩ•cm @25℃;另一方面是水体中其它不导电的杂质几乎不含，其中的杂质的含量小于0.01mg/L(TOC：<20ppb有机物：<0.01AU@254nm残留固体：<200ppb )。
国家颁布的一级实验室用水标准，就是在25℃时水的电阻率大于10 MΩ•cm，电子级一级用水标准是18.2 MΩ•cm，但水温不同超纯水的电阻率测出的数值是不同的。一般测量电阻率的电极都带有测温探头，用作温度补偿。而这样测出的电阻率叫比电阻率。电阻率只是衡量超纯水的一个指标，还有些有机物的指标(不导电)是不能用电阻率衡量的，如TOC、细菌、内毒素，超纯水的具体技术参数要求要依据用户使用的环境用途来确定。
目前医用超纯水设备常用纯化水质的工艺方法有蒸馏法、反渗透法、离子交换法、过滤法、吸附法、紫外氧化法等。超纯水设备一般可以将水的纯化过程大致分为4大步，预处理(初级净化)、反渗透(生产出纯水)，离子交换(可生产出18.2MΩ.cm超纯水)和终端处理(生产出符合特殊要求的超纯水)。常用制取工艺手段：预处理+二级RO+UV+EDI+抛光+微孔。
应用范围广泛用于：
☆电解电容器生产铝箔及工作件的清洗☆电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液☆显像管和阴极射线管生产、配料用纯水
☆黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水☆液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液
☆晶体管生产中主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制
☆集成电路生产中高纯水清洗硅片☆半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路
☆LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏
☆高品质显像管、萤光粉生产☆半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗
☆超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料
☆实验室和中试车间☆汽车、家电表面抛光处理☆光电产品、其他高科技精微产品
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