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电阻18 .25MΩ.cm（在线监测）
微颗粒物＜1个/ml 微生物＜1cfu/ml 重金属离子＜0.1ppb
总有机碳（TOC）＜5ppb 可溶性硅（以sio2计）＜0.01mg/L
吸光度（254nm,1cm光程：≤0.001 可氧化物质[以（0）计，㎎/L]: ≤0.08
阳离子含量≤0.1ppb(铁（Fe)＜0.005 ,铜（Cu)＜0.005 ,钾（K）＜0.02 ,铝（Al)＜0.005锌（Zn）＜0.02
铬（Cr）＜0.005 钠 (Na)＜0.01）
阴离子含量≤0.1ppb（氯（Cl)＜0.01ppb, 亚硝酸根(NO)＜0.02ppb, 硝酸根(NO)＜0.02ppb, 硫酸根(SO)＜0.01ppb)
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