介质阻挡放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、臭氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
等离子体化学反应过程大致如下：
等离子废气处理设备广泛适用于各种低浓度的有机（喷涂、印刷、刷胶、烘烤等）废气处理。
（1）治理废气、异味气体领域； 喷涂、印刷厂、橡胶厂、垃圾处理厂、泵站、石化厂、化工厂、制药厂、卷烟厂、香精厂 、屠宰场等……
（2）食品加工业（用于水产、肉禽、蔬菜等食品加工车间，冷藏室等）
- 主要功能：降低空气中灰尘浓度；消除孢子；消灭细菌病毒；消除异味
（3）室内空气净化（用于饭店、航空、车厢、游轮、客房、商店、展览馆、火车站、体育馆等）
- 主要功能：减少空气中可吸入颗粒物；防止细菌侵害及交叉感染；提高室内空气的离子浓度。
（4）治理油烟粉尘领域；大型火力发电厂、卷烟厂、纺织厂、印刷厂、造纸厂、钢铁厂、水泥厂等……