UV光离子废气处理技术是UV光解技术与低温等离子体技术集成的技术，采用高能高臭氧的UV光将恶臭气体分子键断裂，生成离子、原子、自由基等活性物质，同时分解空气中的氧气分子，使其生成臭氧。臭氧有极强的氧化性，与被裂解的臭气分子作用，将其氧化分解成无害物质，如二氧化碳、水等。同时高能UV 光子将恶臭气体分子击穿，产生活性物质，与臭氧作用，被氧化分解成小分子物质。等离子体裂解反应、UV光解反应，臭氧高级氧化反应及协同氧化反应同时发生，两种技术相互协助，使处理效果更好。
1) 设备优点：
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高效除恶臭：：能高效去除挥发性有机物（VOC）、无机物等要各类污染物，以及各种恶臭味，脱臭效率最高可达99%以上，脱臭效果大大超过国家1993年颁布的恶臭污染物排放标准（GB14554-93）
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运行成本低：本设备无任何机械动作，无噪音，无需专人管理和日常维护，只需作定期检查，本设备能耗低，（每处理1000立方米/小时，仅耗电约0.2度电能），设备风阻极低＜50pa，可节约大量排风动力能耗
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设备占地面积小，自重轻：适合于布置紧凑、场地狭小等特殊条件，设备占地面积＜1平方米/处理10000m3/h风量
2) 适用领域：
由于该工艺净化效率高，可以净化大部分废气，主要用于喷漆车间、油墨印刷、喷涂车间、化工、医药、橡胶、食品、印染、酿造、造纸、炼油厂、污水处理厂、垃圾焚烧发电（转运站、分拣处理厂、填埋场）等产生的有毒有害恶臭气体处理。