臭氧灭菌机理
臭氧（O3）具有仅次于氟（F2）的强氧化力，居第二位，其杀菌效力比氯强。其杀菌机理以氧化作用破坏微生物膜的结构实现杀菌作用。臭氧首先作用于细胞膜，使膜构成成份受损伤而导致新陈代谢障碍并抑制其生长，臭氧继续渗透穿透膜而破坏膜内脂蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，导致细胞溶解直至死亡。研究者用电子显微镜拍到霉菌孢子原形质膜上的空洞，这种理论与臭氧杀菌效果取决于浓度C与时间的乘积CT值和高温度下细胞膜变薄杀菌率的提高的实际效果比较符合。而臭氧灭活病毒则认为氧化作用直接破坏其核糖核酸RNA或脱氧核糖核酸DNA物质而完成的。
臭氧水灭菌情况有些不同，其氧化反应有两种，微生物菌体既与溶解水中的臭氧直接反应，又与臭氧分解生成之羟基OH—的间接反应。由于羟OH—为极具氧化性的氧化剂，因此臭氧水的杀菌速度极快。
三、纯化水系统灭菌
由于臭氧具有极强的氧化性能，因而被广泛应用于消毒灭菌、脱色、除臭。对有机化合物等污染物质去除彻底，不留任何残留物，使之在制药、食品、香精等工业用水中有着不可替代的作用。
臭氧与水混合后形成的臭氧水溶液具有很强的杀菌作用，能够迅速广泛地杀灭多种微生物和致病菌，对有机化合物等污染物质杀菌彻底，且不产生二次污染。其中用于对洁净水本身的消毒时，臭氧应用其关键在于处理水应达到0.3-0.5mg/L的臭氧溶解度值，同时必须保证水气充分接触并保持一定时间。而对于制药品行业中用于对纯化水系统的管道、容器内表面消毒时，实验证实臭氧水浓度应达到2-4mg/L。
