活性炭吸附法系利用高性能活性吸附固体本身的表面作用力，将VOC5分子之吸附质吸引附着在吸附剂表面，以达到去除VOC之目的。
活性炭吸附法在低浓度VOC条件下，可以理想的去除废气中挥发性有机物，同时有较佳的经济效益。故在空气污染控制方面，特别适用处理台低浓度VOC之废气，例如半导体厂LED厂、PCB厂与相关电子厂等。
依照吸附剂与吸附物质间吸引力的不同，吸附法之机制包括有藉由物质间凡得瓦尔力作用之物理吸附及产生化学键结合之化学作用，其中物理作用为一可逆现象。常被用来改变压力或温度破坏此平衡，以再生吸附剂井回收吸附物质，例如蒸汽再生化学氧化再生、微波再生等，化学作用为高放热反应且通常为不可逆反应。