采用UV光解工艺对单一的有机废气物质或恶臭气体物质严格控制进气浓度、气量及其他条件时，UV光解设备功率充足的情况下，测得UV光解净化效率均可达到99%以上。
但实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响，如废气成分复杂，废气浓度不稳定或者不能达到UV光解最适中的范围（浓度过高或过低均会影响其净化去除率），风量、气压、温度、湿度等环境条件不稳定或者达不到UV光解净化的要求，废气预处理做的不够理想，后续排放管道没有留够充足的氧化反应管道等等，导致UV光解的净化效率参差不齐，差异很大，甚至在满足所有外在条件的基础上，处理不同成分的废气其净化效率也有差别。所以很难单纯的去界定一套UV光解净化设备对废气的净化去除率，我们只能说尽量的去调整影响UV光解净化设备净化率的各种因素，尽量的去提高UV光解净化工艺的净化效率。在各种因素都比较适宜的条件下，UV光解净化系统在实际运用中是可以达到90%以上的，甚至某些成分的废气其净化效率可以达到95%以上甚至更高