光解废气处理设备的处理净化效率非常理想， 通过光解氧化可直接将空气中的有机废气完全氧化成无毒无害的物质，不留任何二次污染，利用人工紫外线灯管产生的真空波紫外光作为能源来活化光催化剂，驱动氧化一还原反应，而且光催化剂在反应过程中并不消耗，利用废气臭气表面中的水份和氧气作为氧化剂，有效地降解有毒有机废气体成为光催化高效净化、节约能源的最大特点。
等离子光解废气净化设备工作原理：
采用低温等离子体分解油雾废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被脱离。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能由污染介质成分决定发生的各类化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质浓度及共存的介质成分。