工业等离子废气净化器低温等离子废气净化器是采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约5eV的大量电子作用下，使通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。等离子体被称为物质第4形态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体有机气体净化器是利用等离子体。以每秒800万次至5000万次的速度反复轰击异味气体的分子，去激活、电离、裂解废气中的各种成份，从而发生氧化等一系列复杂的化学反应，再经过多级净化，将有害物转化为洁净的空气释放至大自然。
在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室(PRC)。反应室分成149根六边形管子，每根管子的中央有一根冠状电线，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。
一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。
同时注入环境或者二级气体来优化反应室的湿度和温度登记，与此同时加入离子来改善反应室内的反应。这种冷离子体处理方法使有机气体在低温下进行“氧化”。
低温等离子体有机废气净化设备集国家专利技术和专有保密技术于一体，设备和技术性能稳定可靠。研究表明采用低温等离子体空气净化设备，不仅可以减少等离子体电耗,而且可控制有害副产物的形成,提高性能价格比。异、臭的有害气体分子被低温放电技术产生的高能离子形成的低温等离子体所激活、电离、裂解，从而氧化分解成无臭、无害的物质，空气中的霉菌、病菌等也同时被杀灭，灭菌率95%以上，异味去除率92.5%以上。从而将洁净、新鲜的空气还给人们。
等离子有机废气净化器是一种新型、高效的干法处理有机废气的净化设备，它改变了使用活性炭材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需专人负责，无产生二次污染，更换及维护保养方便，是近年来治理有机废气技术中最先进的一项技术。