催化燃烧净化设备主要由阻火器、热交换器、催化反应床、风机这几个主要部件组成，与直接燃烧相比，催化燃烧温度较低，燃烧比较完全。催化燃烧所用的催化剂为具有大比表面的贵金属和金属氧化物。催化燃烧法是将有机污染物的废气、在催化剂铂、钯等催化剂的作用下，可以在较低温度下将废气中的有机污染物氧化成二氧化碳和水。
废气经阻火器过滤后，通过主进阀、旁通阀的同步反向切换调节进入热交换器，热交换器的热气升高一定温度后进入预热室、经过预热室的加热使废气升温到催化起燃温度（250度）然后进入催化反应床，在催化剂的活性作用下，有机废气进行氧化反应生成无害的水和二氧化碳，并放出一定的热量。反应后的高温气体再次进入热交换器，经换热后，最后以较低的温度经引风机排入大气。催化燃烧是借助催化剂在低温下（200－400度）实现对有机物的完全氧化，因此，操作简单、安全、净化效率高，在有机废气特别是回收价值大的有机废气净化等领域应用广泛。
不同的排放场合和不同的废气，有不同的催化燃烧废气处理工艺流程。但无论采取哪种工艺流程，都由如下工艺单元组成：废气预处理－－－预热装置－－－催化燃烧装置。
