1.食品生产加工车间杀菌净化
速冻食品、冷饮食品、肉蛋奶制品加工车间与包装间，都有比较高的卫生要求，臭氧用于食品加工车间消毒效果好，浓度也比冷库消毒要求低的多，一般0.5－1.0ppm即可达到80％以上的空气杀菌率，并可去除车间异味。蛋品加工厂生产蛋黄酱、冷饮厂生产冰激凌、雪糕，都有搅拌、膨化工序，产品与空气强烈接触，使用臭氧后车间微生物降低90％，产品质量达到合格标准，而一旦停止使用臭氧，产品中细菌含量逐日快速增加。 车间工具、包装物杀菌要求臭氧浓度高一些，应达到5-6ppm。天津一分割、包装煮制鸭车间（约150m3），用3g/h臭氧发生器消毒2小时后，经区卫生防疫站检测，结果如下： 空气细菌总数消毒前：冷却间 105个/m3，包装间1325个/m3。消毒后：冷却间26个/m3,包装间0个/m3。食品操作间内消毒后物品表面细菌情况： a.工作台、菜刀、 菜板；无菌落生长，无大肠菌。 b.门把、地面、手套、真空机、成品箱、细菌总数均小于1个 /cm3，无大肠菌。
2.食品厂生产用水杀菌净化
食品生产需要大量洁净水，在生产成本中是一项较大开支。目前食品生产厂家有两种需求：一是水源不合格，如用海水代替淡水加工水产品或自来水存在污染；另一个是加工用水回用或延长使用时间。臭氧处理是完全可以满足这些需求的。加工蔬菜或禽类最后清洗用水会随时间延长而污染，经常换新水负担不起。利用臭氧处理有两种方案：循环处理或在池内处理均可达到要求。由于水处理臭氧系统投资相对较高，一些企业不愿接受，其实按设备寿命计算水成本并不高，产品质量提高效益。
3.更衣室工作服消毒
食品加工、冷饮、生化制药等部门一些工序对工作服消毒要求很高。工作服消毒.食品行业如每天班后消毒工作服，在20m2封闭房间内挂上几十件工作服，在地上洒些水。如利用3g/h发生器开机3-4小时即可 达到8-10ppm臭氧浓度，确保杀灭率85％以上的消毒效果。（若选用臭氧产生量大的发生器则时间较短）把工作服挂在臭氧杀菌车间也有消毒作用，效果因浓度高底而产生少量偏差。
4.食品设备、容器、工具、生产过程的消毒灭菌
在饮料、果汁等生产过程中，臭氧水可用于管路、生产设备及盛装容器的浸泡和冲洗，从而达到消毒灭菌的目的。采用这种浸泡、冲洗的操用方法，一是管路、设备及盛装容器表面上的细菌、病毒大量被冲淋掉；二是残留在表面上的未被冲走的细菌、病毒被臭氧杀死，非常简单省事，而且在生产中不会产生死角，还完全避免了生产中使用化学消毒剂带来的化学毒害物质排放及残留等问题。另外，利用臭氧水对生产设备等的消毒灭菌技术结合膜分离工艺、无菌灌装系统等，在酿造工业中用于酱油、醋及酒类的生产，可提高产品的质量和档次。
5.冷库的消毒与除味蔬菜水果贮藏防霉保鲜
冷库的生物污染源主要是霉菌，因其在低温条件下存活，对消毒剂有较强的耐受力。甘肃商业科技所和兰州大学合作对兰州地区冷库的青霉菌作消费剂筛选试验，在甲醛、过氧乙酸、苍尔子油和臭氧消毒最终效果的对比中，优选出臭氧。在臭氧12ppm作用下3-4小时，包括抵抗力极强的未萌动孢子皆被杀死。厂家实际应用 中也证明了臭氧在冷库消毒中的优良效果